?PECVD 

PECVD ( Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition ) 是指 等離子體增強化學(xué)的氣相沉積法。這種方法有很多優(yōu)點，比如成膜質(zhì)量好等。比如：在PECVD工藝中由于等離子體中高速運動的電子撞擊到中性的反應(yīng)氣體分子，就會使中性反應(yīng)氣體分子變成碎片或處于激活的狀態(tài)容易發(fā)生反應(yīng)。襯底溫度通常保持在350℃左右就可以得到良好的SiOx或SiNx薄膜，可以作為集成電路最后的鈍化保護層，提高集成電路的可靠性。